【資料圖】

隨著國(guó)內(nèi)對(duì)于集成電路國(guó)產(chǎn)化重視程度持續(xù)提升，CMP作為半導(dǎo)體材料的拋光步驟的關(guān)鍵原材料，多年來一直屬于“卡脖子”狀況，隨著安集科技突破拋光液之后，國(guó)產(chǎn)化替代正式開始，但目前技術(shù)仍有待提升，且拋光墊技術(shù)壁壘更厚背景下市場(chǎng)集中度更高，國(guó)產(chǎn)化難度更高，政策推動(dòng)整體集成電路發(fā)展背景下，國(guó)產(chǎn)化將繼續(xù)推進(jìn)。

受益于3D Nand以及先進(jìn)制程工藝的快速發(fā)展，CMP材料需求量的大幅提升，全球拋光液和拋光墊市場(chǎng)規(guī)模分別達(dá)到2020年的16.6億美元和10.2億美元。2021年下游集成電路需求持續(xù)增長(zhǎng)背景下拋光液市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)2.3億美元，達(dá)到18.9億美元。

國(guó)內(nèi)CMP拋光材料產(chǎn)業(yè)起步慢，企業(yè)數(shù)量少，規(guī)模較小，僅有少數(shù)企業(yè)能實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，在市占率方面也與國(guó)外廠商有相當(dāng)?shù)牟罹?。拋光墊領(lǐng)域，Dow(陶氏化學(xué))、Cabot、Thomas West等外資廠商公司擁有90%以上市場(chǎng)份額。國(guó)產(chǎn)化替代尚未突破這一領(lǐng)域，鼎龍股份存在少量產(chǎn)能，主要用于面板行業(yè)。

隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速向大陸轉(zhuǎn)移，以及半導(dǎo)體市場(chǎng)不斷放量和工藝制程不斷進(jìn)步，均需要大量的半導(dǎo)體新材料支持。未來，伴隨著半導(dǎo)體制造工藝日益復(fù)雜，CMP的用處更加廣泛，全球CMP拋光材料市場(chǎng)將巨量增長(zhǎng)。隨著國(guó)內(nèi)晶圓廠的快速投產(chǎn)，上游材料消耗量增速未來將領(lǐng)跑全球。

據(jù)中研產(chǎn)業(yè)研究院報(bào)告《2021-2025年中國(guó)CMP拋光材料行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)及投資預(yù)測(cè)報(bào)告》分析：

CMP即“化學(xué)機(jī)械拋光”，半導(dǎo)體器件通常要求達(dá)到納米級(jí)的平整度，要不然，各處電阻值不均，光刻也刻不準(zhǔn)，目前最好的工藝是用化學(xué)(液體)和機(jī)械(墊子)結(jié)合起來的方式。在拋光這個(gè)工藝中，最重要的兩種材料是拋光液和拋光墊。

目前，國(guó)內(nèi)在拋光液行業(yè)已有幾十家生產(chǎn)企業(yè)。安集微電子(上海)生產(chǎn)的拋光液更是打破了國(guó)外在高端集成電路制造拋光材料領(lǐng)域的壟斷。CMP拋光墊僅陶氏市占率就達(dá)80%左右。國(guó)內(nèi)有少數(shù)外資企業(yè)少量生產(chǎn)中低端產(chǎn)品，但缺乏獨(dú)立自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和品牌，其中鼎龍股份發(fā)展較快，2021年7月拋光墊單月出貨量突破一萬片。拋光墊產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了全制程(氧化物、銅、鎢、鋁、淺溝槽隔離、阻擋層等)、全技術(shù)節(jié)點(diǎn)(28nm 及以上的成熟制程、28nm 以下的先進(jìn)制程)覆蓋，但目前仍主要用于面板產(chǎn)業(yè)，半導(dǎo)體領(lǐng)域仍待突破。

CMP材料產(chǎn)業(yè)鏈與萬華化學(xué)聚氨酯板塊相關(guān)度高，拋光液主要原料包括研磨顆粒、各種添加劑和水，其中研磨顆粒主要為硅溶膠和氣相二氧化硅?；瘜W(xué)機(jī)械拋光液原料中添加劑的種類根據(jù)產(chǎn)品應(yīng)用需求有所不同，如金屬拋光液中有金屬絡(luò)合劑、腐蝕抑制劑等，非金屬拋光液中有各種調(diào)節(jié)去除速率和選擇比的添加劑。就成本結(jié)構(gòu)而言，拋光液成本主要分為直接材料、直接人工和制造費(fèi)用，其中上游研磨顆粒等原材料占比最高，約76.7%左右。主要原因是原材料價(jià)格較高，加之規(guī)模化生產(chǎn)背景下人力成本較低。

想要了解更多CMP拋光材料行業(yè)的發(fā)展前景，請(qǐng)查閱《2021-2025年中國(guó)CMP拋光材料行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)及投資預(yù)測(cè)報(bào)告》。

關(guān)鍵詞： CMP拋光材料國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì) 2022年中國(guó)CMP拋光材料行業(yè)分析