電子特氣的概念

電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護(hù)氣氛等等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關(guān)鍵和重要。

【資料圖】

根據(jù)中研普華產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2021-2026年電子特氣行業(yè)市場深度分析及發(fā)展策略研究報(bào)告》顯示：

國內(nèi)的超高純度凈化技術(shù)主要依賴進(jìn)口，自身的技術(shù)水準(zhǔn)(6N)與國際先進(jìn)水平(8-9N)有較大差距。將設(shè)計(jì)和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進(jìn)行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統(tǒng)對氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產(chǎn)品缺陷， 提高制程的產(chǎn)量，滿足下一代半導(dǎo)體、微電子以及相關(guān)高技術(shù)發(fā)展的需要。本項(xiàng)目將形成有自主知識產(chǎn)權(quán)的超高純度電子特氣凈化技術(shù)，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術(shù)的國產(chǎn)化問題。

集成電路是電子特氣主要下游應(yīng)用，晶圓產(chǎn)能2021年已達(dá)16%，預(yù)計(jì)到2024年將達(dá)19%，產(chǎn)業(yè)鏈逐步向國內(nèi)轉(zhuǎn)移。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2021-2022年全球共新增晶圓廠29座，其中中國大陸新增8座，占比達(dá)到27.59%。

電子特氣行業(yè)市場現(xiàn)狀分析

數(shù)據(jù)顯示，2021年，電子特氣在集成電路中的應(yīng)用占比達(dá)43%，其次為顯示面板，占比21%，LED和光伏分別占比13%，6%，主要應(yīng)用環(huán)節(jié)包括離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等。2021年全球電子特氣市場規(guī)模達(dá)46億美元，預(yù)計(jì)未來行業(yè)將保持在5%左右的增速，市場規(guī)模在2024年達(dá)到54億美元。

在氣體純化環(huán)節(jié)，國產(chǎn)企業(yè)已能夠?qū)⒉糠蛛娮犹貧鈱?shí)現(xiàn)9N(99.9999999%)級別的純度;在氣體混配環(huán)節(jié)，國產(chǎn)企業(yè)可使配氣誤差達(dá)到±2%以內(nèi);在氣瓶處理環(huán)節(jié)，國產(chǎn)企業(yè)可使粗糙度達(dá)到0.2μm以下;在氣體分析檢測環(huán)節(jié)，國產(chǎn)企業(yè)對多種氣體的檢測精度可達(dá)0.1ppb。國產(chǎn)氣體企業(yè)已在部分特種氣體上擁有自主核心技術(shù)，為推進(jìn)電子特氣國產(chǎn)替代打下了工藝基礎(chǔ)。

“十四五”期間，中國工業(yè)氣體、集成電路產(chǎn)能分布密集的東部地區(qū)基于自身區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出相應(yīng)的電子特氣行業(yè)發(fā)展規(guī)劃，其中如廣東、遼寧等地基于優(yōu)勢城市、區(qū)域產(chǎn)業(yè)群加大技術(shù)投入，拓展包括電子特氣在內(nèi)的工業(yè)氣體版圖;江蘇、浙江等集成電路產(chǎn)能密集省份則基于區(qū)域相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向，有針對性地發(fā)展相應(yīng)電子特氣產(chǎn)業(yè)，提升集成電路產(chǎn)業(yè)化程度。

根據(jù)數(shù)據(jù)顯示，2017-2021年，中國特種氣體市場規(guī)模從175億元增至342億元，年復(fù)合增速達(dá)18%。預(yù)計(jì)到2026年中國特種氣體行業(yè)的市場規(guī)模將達(dá)到808億元，2021-2026年復(fù)合增長率為18.76%。

中國電子特氣2021年市場規(guī)模為167億元，預(yù)計(jì)2024年我國電子特氣市場規(guī)模將達(dá)到230億元，2020-2024年復(fù)合增速將達(dá)11.28%，增速高于全球。我國電子特氣市場主要由早期進(jìn)入市場的國外廠商壟斷，2020年CR4達(dá)86%。目前國內(nèi)電子特氣第一梯隊(duì)的廠商已經(jīng)具備規(guī)模生產(chǎn)能力，在細(xì)分領(lǐng)域產(chǎn)品具有一定優(yōu)勢。

國產(chǎn)企業(yè)加速擴(kuò)產(chǎn)迎接需求釋放，國產(chǎn)化率有望從2020年的14.2%提升至2025年的25%。目前全球及國內(nèi)的電子特氣市場被四家海外氣體巨頭壟斷，2020年國產(chǎn)化率僅14.2%，隨著國產(chǎn)企業(yè)突破技術(shù)、客戶、服務(wù)三大壁壘，疊加俄烏沖突導(dǎo)致稀有氣體供應(yīng)短缺的催化，電子特氣國產(chǎn)替代需求強(qiáng)烈。

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